<div><img src="https://img.etnews.com/news/article/2025/06/03/news-p.v1.20250603.e1b6c9ca3ecf44cab13827ce6240b6a5_P2.png" />TSMC가 미국 관세로 인한 영향에도 불구하고 강력한 인공지능(AI) 수요 덕에 올해 사상 최대 실적을 낼 것이라고 예고했다.웨이저자 TSMC 최고경영자(CEO)는 3일 열린 주주총회에서 이같이 밝혔다. 그는 미국 관세가 회사에 일부 간점적 영향을 줬다고 인정하면서도 AI 사업이 “매우 강력하다”고 평가했다.미국의 관세 정책에 반도체 칩 가격이 상승하고 일부 수요가 감소하는 영향을 받겠지만 TSMC 사업은 “여전히 매울 좋을 것”이라는 의미다.웨이 CEO는 AI 확산에 힘입어 “올해 매출과 이익이 사상 최고를 경신할 것”이라고 말했다. 이어 “고객을 만족시키기 위해 생산능력을 확대하려고 노력 중”이라고 강조했다.최근 블룸버그가 보도한 TSMC의 중동 생산 공장 건설 계획은 사실이 아니라고 부인했다.권동준 기자 djkwon@etnews.com </div>

<div><img src="https://img.etnews.com/news/article/2025/05/30/news-p.v1.20250530.65225fe34e5844e5b5a52e9116d6ef4b_P1.jpg" />대만 디스플레이 전문기업 호니글라스(HONY GLASS TECHNOLOGY)가 국내 박판유리기업 지웰코퍼레이션(대표 안경철)과의 기술협력을 발판으로 한국과 일본 디스플레이 곡면유리 시장 진출에 가속도를 붙이고 있다.호니글라스는 대만 신타이뻬이시 루이팡공업단지에 위치한 소재·장비기업이다. 46년간 산업용과 가전제품 및 디스플레이용 유리가공, 안티글레어(AG:Anti-Glare), 안티리플렉션(AR:Anti-Reflection), 안티핑거프린트(AFP:Anti-Finger Print) 등 표면코팅에 특화된 사업을 운영해왔다. 현재 400여개 고객사와 1000여종의 제품을 개발해 생산하고 있다. 이 업체는 최근 한국과 중국, 일본, 대만 등의 현지기업들이 앞다퉈 개발중인 유리관통전극(TGV) 기판을 독자 공정기술과 장비로 개발하며 두각을 드러냈다. 특히 최근에는 비아홀(Via Holes)을 가공하는 레이저설비와 에칭설비를 가동했고, 레이저 가공과 습식에칭·표면처리 분야 축적된 노하우로 TGV분야 독보적 기술력을 확보하고 있다.지난해엔 건물외벽용 태양광 발전 글라스에 박막 재료인 '카드뮴 텔루라이드(CdTe)'를 코팅하고 배면에 반사판을 적용한 특허도 확보했다. 열절연 태양광 유리(HISG)기술을 적용해 투과율 60%·발전효율 18%, 열차단 기능의 대형 판넬 제품을 생산, 현재 대만 송산공항에 설치중이다. 본격 양산에 대비해 제2공장이 2027년도 완공 목표로 건설되고 있다. 호니글라스는 특히 국내 기업 지웰코퍼레이션과 협력해 일본 에이지씨(AGC)가 독점하고 있는 일본 자동차용 전면 디스플레이용 곡면 유리시장과 의료기기용 곡면유리를 신공법을 적용해 다수의 모델을 양산하고 있다.이번 신공법은 표면에 AG 처리한 유리표면이 열성형 공정에서 변형이 없고, 배면인쇄는 도장공법과 3D잉크젯 인쇄기술로 생산하며, 특수설계 제작한 금형으로 표면접촉을 최소화해 추가 표면연마 없이 양산수율 95% 이상인 곡면 유리 성형의 독보적 기술도 확보했다. 이번 3D 성형유리 제품(1500㎜x250㎜)은 지난달 일본 요코하마 자동차부품전시회에 출품해 호평을 받기도 했다.호니글라스는 또 최근 경북대학교와 페로브스카이트 솔라셀 양산기술이전에 대한 협의도 진행중이며, 일본 기업과 함께 고투과율의 패로브스카이트 제조기술의 이전과 관련 장비를 개발 중이다.한편, 호니글라스는 지난 3월 독일 임베디드 월드, 4월 대만에서 열린 대만 터치 타이완, 5월 미국 산호세에서 열린 SID 전시회에서 관련 제품을 잇따라 소개했으며, 오는 11월에는 일본 파인테크(Finetech) 전시회에도 출품할 계획이다.정재훈 기자 jhoon@etnews.com </div>

대만 디스플레이 전문기업 호니글라스(HONY GLASS TECHNOLOGY)가 국내 박판유리기업 지웰코퍼레이션(대표 안경철)과의 기술협력을 발판으로 한국과 일본 디스플레이 곡면유리 시장 진출에 가속도를 붙이고 있다.

대만 디스플레이기업 호니글라스, 한국기업과 손잡고 글로벌 진출 속도

<div><figure><img src="https://www.cosinkorea.com/data/photos/20250623/art_17490293486831_8840eb.png" /></figure>[코스인코리아닷컴 한지원 기자] 태경에스비씨(주)가 무기 자외선 차단 원료(OTC 품목)에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 우수의약품 제조·품질관리 기준(GMP) 실사를 통과했다고 공식 발표했다.지난 2월 미국 FDA는 태경에스비씨(주)의 무기 자외선차단 원료 제조사업장에 대한 실사를 진행했으며 4월에는 모든 기준에 적합하다는 최종 실사 결과서(EIR)를 발행했다.태경에스비씨(주)는 산화아연(ZnO) 등 산업용 소재 분야에서 50년 이상 축적된 경험과 기술을 바탕으로 2011년 화장품용 ZnO 양산 국산화에 성공했으며 양산이 까다로운 화장품용 TiO2의 국내 최초 양산에 성공하면서 국내에서 ZnO와 TiO2의 두가지 제품을 동시에 양산할 수 있는 유일한 기업이 됐다.이번 FDA 실사를 통해 태경에스비씨(주)의 무기 자외선 차단제(TiO₂, ZnO)가 FDA의 GMP 기준을 충족하는 제조시설에서 생산되고 있음을 공식적으로 인증받게 된 것이다.회사 관계자는 “이번 결과를 발판 삼아 북미 시장을 포함한 글로벌 시장 진출과 사업 확장에 박차를 가할 계획이다”며, “앞으로도 지속적인 품질관리와 기술 혁신을 통해 글로벌 경쟁력을 더욱 강화해 나가겠다”고 밝혔다.TiO₂와 ZnO는 자외선 차단 제품의 필수적으로 사용되는 무기계 원료이다. 특히 양산 공정 기술이 어려운 TiO2의 경우 과거 국내에 양산할 수 있는 기업이 없었기 때문에 독일과 일본 등의 해외 제조사로부터의 수입에만 의존해 왔다.이처럼 원료 수급을 해외기업에만 의존하게 되면 국내 기업은 가격, 물량 협상에서 늘 불리할 수 밖에 없으며 실제로 2019년에 일본 TiO2 제조사에서 공급을 제한하면서 국내 화장품 제조사들이 수년간 큰 어려움을 겪은 아픈 경험도 있었다.태경에스비씨(주)는 최근 연구개발을 지속해 ZnO와 TiO2 1차 입자의 조절 기술, 2차 입자의 다양한 습식 코팅 기술을 개발했다. 이를 통해 최적화된 화장품용 무기 소재 개발이 가능해졌으며 다양한 입자 형태와 기능에 대한 고객 맞춤형 생산도 가능하게 됐다.이번 미국 FDA의 GMP 실사 통과는 태경에스비씨(주)가 글로벌 의약품 수준의 제조와 품질관리 능력을 보유하고 있음을 입증한 것으로 수입 원료에 의존하던 무기 자외선 차단 원료의 국산화는 물론 글로벌 시장 진출 확대에도 긍정적인 영향을 미칠 것으로 기대된다. 이에 따라 국내외 시장에서의 입지도 한층 강화될 전망이다.</div>

[코스인코리아닷컴 한지원 기자] 태경에스비씨(주)가 무기 자외선 차단 원료(OTC 품목)에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 우수의약품 제조·품질관리 기준(GMP) 실사를 통과했다고 공식 발표했다.

태경에스비씨, '자외선 차단 원료' 미국 FDA GMP 실사 통과 "글로벌 시장 진출 본격화"

<div>국내와 미국 오가며 세노바메이트 안착 주력최태원 장녀 최윤정 본부장과의 시너지 기대[서울=뉴스핌] 김신영 기자 = SK바이오팜이 지난해 적자 고리를 끊고 사상 최대 실적을 올리며 흑자 전환에 성공했다. 연매출 5000억원을 돌파하며 시장 전망치를 상회하는 성과를 낸 것이다. 뇌전증 신약 '세노바메이트(미국 판매명 엑스코프리)'가 미국 시장에 성공적으로 안착하면서 외형 성장과 수익성 회복이라는 두 마리 토끼를 모두 잡았다.그 중심에는 적극적인 현장형 리더십을 발휘한 이동훈 대표가 있다. 이 대표는 세노바메이트의 직판 체계를 안정화시키기 위해 미국 전역을 발로 뛰며 현장에서 답을 찾았다. 영업 담당자들을 직접 만나 매출 확대 전략을 구상하고 실행한 결과 신약 단일 품목 만으로 본격적인 성장 궤도에 진입했다.<figure><img src="https://img.newspim.com/news/2025/06/04/2506041401211060.jpg" /></figure>◆ 실행력으로 증명한 '현장형 리더십' 흑자전환 이끌다이 대표는 투자와 제약·바이오 업계를 두루 경험한 전문가다. 글로벌 회계법인 삼정KPMG를 시작으로 동아제약, 동아쏘시오홀딩스, 동아ST를 거친 그는 2019년 SK그룹에 합류해 바이오사업 관련 투자와 인수합병을 담당했다.2022년 SK바이오팜의 사장으로 선임된 이 대표는 세노바메이트의 미국 시장 안착이라는 과제를 맡았다. SK바이오팜이 세노바메이트 개발에 20여년의 시간을 들인 가운데, 가시적인 성과에 대한 기대가 컸다.세노바메이트는 2020년 미국 시장에서 본격적으로 판매되기 시작했다. 국내 제약사가 신약 발굴부터 임상, 허가, 판매까지 전 과정을 독자적으로 수행해 미국 식품의약국(FDA) 승인을 받은 최초의 사례인 만큼 시장 안착 여부에 관심이 쏠렸다.SK바이오팜은 현지 파트너사를 통해 약을 판매하는 것이 아닌 '직접 판매'를 택했다. 미국의 의약품 영업망은 국내와 달리 방대하고 복잡해 대부분의 기업들은 현지 파트너사와 손을 잡는 방식을 택한다. 다국적 제약사들과 파트너십을 맺을 경우 이미 구축돼 있는 유통망과 네트워크를 활용할 수 있어 속도와 비용 면에서 훨씬 효율적이기 때문이다.이 대표에게는 가보지 않은 길을 개척해야 하는 임무가 주어진 셈이다. 판매망 구축부터 영업 전략, 시장 반응 대응까지 전 과정을 직접 책임지는 구조 속에서 현장을 직접 누볐다.현실은 녹록지 않았다. SK바이오팜은 2020년 이후 적자를 지속했고, 2022년 기술료 수령으로 950억원의 영업이익을 낸 것이 유일했다. 이 대표는 한 달의 절반 이상을 미국에 머물며 직판 네트워크 구축에 공을 들였다. 현지 영업 조직을 직접 만나 소통을 이어가며 현장의 목소리에 귀기울였다. 매년 영업 조직을 대상으로 '내셔널 세일즈 미팅'을 개최하고 영업 조직을 독려하며 비전과 핵심 전략을 공유하기도 했다.그 결과 SK바이오팜은 지난해 역대 최대 실적을 기록했고 흑자로 돌아섰다. 연매출 5000억원을 돌파했고, 영업이익은 963억원을 냈다. 미국 내 세노바메이트 매출은 전년 대비 62% 상승한 4387억원의 연매출을 기록했다. 누적 매출은 이미 1조원을 돌파하며 블록버스터 신약으로의 도약을 앞두고 있다.<figure><img src="https://img.newspim.com/news/2023/07/18/2307181524062930.jpg" /></figure>◆ 연내 세컨드 프로덕트 공개, '빅 바이오텍' 전환 가속SK바이오팜은 연내 세노바메이트의 뒤를 이을 세컨드 프로덕트를 공개할 전망이다.SK바이오팜은 올 1분기 실적 발표 컨퍼런스콜에서 "현재 가장 적극적으로 협상중인 타겟에 대해 상반기 내 성과를 보여줄 수 있을 것 같다"며 "중장기 성장 전략 발표 2주년인 올 여름에 시장에 소개하는 기회를 가질 것으로 기대하고 있다"고 밝혔다.세노바메이트를 통해 미리 구축한 미국 영업망을 활용할 수 있는 제 2의 상업화 제품을 도입하고, 조기에 수익을 확보해 신규 모달리티 기술 플랫폼과 항암 등으로 신약 개발 영역을 확장하겠다는 구상이다.SK바이오팜은 앞서 차세대 성장동력으로 표적단백질분해치료제(TPD), 방사성의약품(RPT), 세포치료제(CGT)을 낙점하고 사업 육성 계획을 제시했다. 본격적인 RPT 치료제 개발을 위해 테라파워와 치료용 방사성 동위원소 '고순도 Ac-225'(225Ac·악티늄-225) 공급 계약을 맺고 안정적인 공급망을 마련해뒀다. 미국의 바이오벤처 프로테오반트 사이언스를 인수해 TPD 기술과 미국 내 연구거점도 확보해 둔 상태다.디지털 헬스케어 분야 진출도 본격화한다. 남미 최대 제약사 중 하나인 유로파마와 함께 미국 내 조인트벤처(JV)를 설립하고 북미 시장을 중심으로 AI 기반 뇌전증 관리 플랫폼 사업을 추진할 예정이다. JV는 SK바이오팜이 개발한 뇌파 분석 인공지능(AI) 기술과 웨어러블 디바이스를 기반으로 뇌전증 발작 여부를 실시간으로 모니터링하고 의료진에게 최적의 치료 계획을 지원하게 된다.세노바메이트의 적응증 및 연령 확장을 통해 시장 확대도 노리고 있다. 연내 부분 발작을 넘어 전신발작(PGTC)으로의 적응증 확장에 대한 임상 3상 탑라인 결과를 확보하고, 소아 환자의 복용을 쉽게 하는 현탁액 제형을 개발해 신약허가신청서(NDA)를 제출할 예정이다.이 대표와 최태원 SK그룹 회장의 장녀 최윤정 SK바이오팜 사업개발본부장의 시너지도 기대된다. 이 대표는 세노바메이트의 성공적인 안착을 통해 수익성 확보를 이뤄냈다면, 최 본부장은 회사의 중장기 성장 전략 수립을 주도하고 있다.최 본부장은 지난해 열린 RPT 사업 관련 컨퍼런스 콜에서 "2027년까지 글로벌 수준의 RPT 기업으로 성장해 '빅 바이오텍'으로 도약하겠다"는 포부를 밝힌 바 있다.이 대표 또한 올해 신년사에서 가장 큰 화두로 'R(연구)'의 글로벌화 원년'을 꼽으며 "한국과 미국, 아시아, 유럽 등을 잇는 글로벌 R&D 네트워크를 체계적으로 재정비하고 최고 수준의 연구 역량을 갖추는데 집중하겠다"고 전했다.이 대표는 "글로벌화 과정은 글로벌 빅 바이오텍으로 나아가는 길목에서 반드시 거쳐가야 하는 관문"이라며 "나중에 돌아보면 2025년이 글로벌 회사로 도약하기 위한 터닝 포인트였다고 말할 수 있을 것"이라고 자신했다.sykim@newspim.com</div>

국내와 미국 오가며 세노바메이트 안착 주력. 최태원 장녀 최윤정 본부장과의 시너지 기대. [서울=뉴스핌] 김신영 기자 = SK바이오팜이 지난해 적자 고리를 끊고 사상 최대 실적을 올리며 흑자 전환에 성공했다. 연매출 5000억원을 돌파하며 시장 전망치를 상회하는 성과를 낸 것이다. 뇌전증 신약 '세노바메이트(미국 판매명 엑스코프리)'가 미국 시장에 성공적으로 안착하면서 외형 성장과 수익성 회복이라는 두 마리 토끼를 모두 잡았다.

[2025 100대 CEO] '현장형 리더' 이동훈 SK바이오팜 대표, 빅 바이오텍 도전장

<div><img src="https://img.etnews.com/news/article/2025/06/04/news-p.v1.20250604.c7f3e06f8290404a97a6c6b00ec0194a_P2.jpg" />비아이매트릭스가 생성형 인공지능(AI) 솔루션 수주 행진을 이어가고 있다.비아이매트릭스(대표 배영근)는 포스코의 생성형 AI 기반 매출분석 시스템 계약을 체결했다고 4일 밝혔다. 이번 계약은 비아이매트릭스의 AUD 플랫폼과 함께 생성형 AI 솔루션 'G-MATRIX'로 포스코의 매출정보 범위에 대한 분석업무를 골자로 한다. 매출분석 시스템에서 관리하는 데이터를 이용해 메타정보를 구축하고 자연어로 질의하면 해당 정보를 데이터베이스에서 실시간으로 조회해 다양한 표와 그래프로 이루어진 화면을 동적으로 생성해 주는 방식으로 '일하는 방식의 변화'를 목적으로 하고 있다.비아이매트릭스 관계자는 “독보적인 생성형 AI 기술 경쟁력을 바탕으로 2025년에 들어 연이어 국내 대기업, 금융 및 공공기관과 함께 G-MATRIX 계약을 체결하고 있다”며 “이번 수주는 공급망관리(SCM) 분야에서 생성형 AI 기반의 G-MATRIX의 적용 분야가 확대된 데 큰 의미가 있으며, 향후 원인분석, 예측, 추천 및 시뮬레이션 등 기업용 AI의 기능에 대한 고도화를 통해 적용 영역을 다각화해 나갈 것”이라고 말했다.비아이매트릭스는 2023년 9월 G-MATRIX 제품 출시하면서 지속적으로 국내 주요 대기업향 수주 성과를 달성하고 있으며, 금융 및 공공기관 등으로 AI 솔루션 공급 확대를 적극 추진 중이다. 비아이매트릭스는 미국, 일본, 동남아 등 해외에서도 G-MATRIX 론칭쇼를 성공적으로 진행하고 최근 일본 공공기관에 AI 분석 솔루션 G-MATRIX의 첫 공급사례를 기록하며 글로벌 시장 본격 진출에도 박차를 가하고 있다.김현민 기자 minkim@etnews.com </div>

비아이매트릭스가 생성형 인공지능(AI) 솔루션 수주 행진을 이어가고 있다. 비아이매트릭스(대표 배영근)는 포스코의 생성형 AI 기반 매출분석 시스템 계약을 체결했다고 4일 밝혔다. 이번 계약은 비아이매트릭스의 AUD 플랫폼과 함께 생성형 AI 솔루션 'G-MATRIX'로 포스코의 매출정보 범위에 대한 분석업무를 골자로 한다. 매출분석 시스템에서 관리하는 데이터를 이용해 메타정보를 구축하고 자연어로 질의하면 해당 정보를 데이터베이스에서 실시간으로 조회해 다양한 표와 그래프로 이루어진 화면을 동적으로 생성해 주는 방식으로 '일하는 방식의 변화'를 목적으로 하고 있다.

비아이매트릭스, AI 솔루션 G-MATRIX 포스코 공급…국내 주요 대기업 수주 잇달아

<div><figure><img src="https://www.jeonmae.co.kr/news/photo/202506/1153139_860409_3951.jpg" /></figure>현대제철 주가가 상승세를 보이고 있다. 4일 오전 9시 38분 기준 현재 전 거래일 대비 +6.02% 오른 22만 원에 거래되고 있다. 거래량은 180만 8,517주다. 이는 엔비디아가 4개월 만에 뉴욕 증시 시가총액 1위를 탈환하는 등 주가가 강세를 보이자 이날 SK하이닉스 주가가 상승한 것으로 보인다. 이는 간밤 뉴욕 증시에서 엔비디아가 2.80% 오른 것을 비롯해 반도체주가 강세를 보인 영향으로 풀이된다.투자은행 제프리스는 엔비디아가 인공지능(AI) 칩 블랙웰의 생산량 증가에 따라 올해 매출 총이익률이 상승할 것이라고 예상하면서 투자심리가 개선됐다.메타가 콘스텔레이션 에너지와 20년간 전력 구매에 대해 계약한 것도 AI 산업의 지속 가능성에 대한 기대감을 키웠다.이에 엔비디아뿐만 아니라 브로드컴(3.27%), 마이크론(4.15%), AMD(2.34%) 등이 큰 폭으로 올랐고, 필라델피아반도체지수도 2.72% 오르며 연이틀 상승했다.[전국매일신문] 김주현기자joojoo@jeonmae.co.kr저작권자 © 전국매일신문 - 전국의 생생한 뉴스를 ‘한눈에’ 무단전재 및 재배포 금지</div>

현대제철 주가가 상승세를 보이고 있다. 4일 오전 9시 38분 기준 현재 전 거래일 대비 +6.02% 오른 22만 원에 거래되고 있다. 거래량은 180만 8,517주다.

[특징주] SK하이닉스, 엔비디아 주도 AI랠리 재연 기대 '상승'

<div><figure><img src="https://newsimg.sedaily.com/2025/06/05/2GTYF839OW_1.jpg" /></figure>삼천당제약(000250)이 황반변성 치료제 아일리아 바이오시밀러(복제약)를 처음 수출했다는 소식에 주가가 급등하고 있다.5일 한국거래소에 따르면 이날 오전 9시 30분 기준 삼천당제약은 전 거래일 대비 1만 6400원(11.29%) 오른 16만 1600원에 거래되고 있다. 삼천당제약이 개발한 아일리아 바이오시밀러의 첫 상업용 물량 선적을 완료했다는 소식에 매수세가 몰린 것으로 풀이된다.삼천당제약은 이날 아일리아 바이오시밀러의 첫 상업용 제품이 선적됐고 오는 7월부터 판매가 개시될 예정이라고 밝혔다. 회사 관계자는 “이번에 선적된 제품의 90%는 프리필드시린지(PFS)로 구성돼 있고, 이는 글로벌 시장에서 첫 번째 아일리아 바이오시밀러 PFS로 판매가 될 것”이라며 “올해 하반기에 수출될 수량은 국내 아일리아 1년 판매량(약 17만개)을 능가할 전망으로 나머지 지역들의 올해 수출 물량도 확정돼 제품 생산이 순차적으로 진행 중”이라고 말헀다. 삼천당제약은 PFS 제품이 타사 대비 경쟁력을 갖추고 있어, 글로벌 파트너사들이 초기부터 시장 점유율을 빠르게 확보할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 회사는 아일리아 바이오시밀러의 국가별 허가 취득과 고용량(High Dose) 제품 개발도 진행 중이다.<figure><img src="https://newsimg.sedaily.com/2025/06/05/2GTYF839OW_2.jpg" /></figure></div>

삼천당제약(000250)이 황반변성 치료제 아일리아 바이오시밀러(복제약)를 처음 수출했다는 소식에 주가가 급등하고 있다. 5일 한국거래소에 따르면 이날 오전 9시 30분 기준 삼천당제약은 전 거래일 대비 1만 6400원(11.29%) 오른 16만 1600원에 거래되고 있다. 삼천당제약이 개발한 아일리아 바이오시밀러의 첫 상업용 물량 선적을 완료했다는 소식에 매수세가 몰린 것으로 풀이된다.

삼천당제약, 아일리아 바이오시밀러 첫 수출에 주가 10% '쑥' [Why 바이오]

<div>“반도체를 깎는 식각 장비는 깊이를 얇고 일정하게 팔 수 있어야 좋다. 램리서치의 새 식각 장비 ‘아카라’는, 반도체 생산 고객사가 요구하는 최대 조건까지 맞춰 식각을 할 수 있다.”램리서치가 5일 서울 역삼동 AC 호텔에서 미디어 테크 세션을 열고 반도체 식각 장비 ‘아카라(Akara)’에 적용한 기술을 소개했다. 아카라는 램리서치가 올해 3월 발표한 장비다.박준홍 램리서치코리아 대표(=상단 사진)는 “우리는 증착과 식각 분야에서 강세를 보이는 기업”이라며 “최근 두 분야의 중요도가 상승하고 고객 요구 사항과 난이도가 높아지는 상황에서, 식각 장비 ‘키요’로 쌓은 20년 노하우를 기반으로 아카라를 통해 식각 분야를 선도하겠다”고 말했다.증착은 실리콘 웨이퍼 표면에 여러 가지 도체와 절연층을 얇게 쌓는 공정을 말한다. 식각은 증착된 층(박막)을 회로 모양대로 파내는 공정이다. 더 미세한 공정이 요구되는 첨단 반도체 시장에서 정밀도가 높은 식각 기술을 가진 기업은 여러 반도체 기업의 주목을 받을 만하다.램리서치 조사에 따르면 이 회사가 2004년에 출시한 식각 장비 키요는 세계 각 기업에서 현재 3만개 이상 사용하는 중이다. 그러나 최근 고대역폭메모리(HBM), 3D 낸드, 3D 디램 등 수직 적층 구조를 채택한 반도체 수요가 늘면서 더 깊이 안정적으로 식각할 수 있는 장비가 필요해졌다.램리서치가 말하는 아카라의 장점은 깊이를 얇고 일정하게 팔 수 있다는 것. 업계에서는 이를 ‘종횡비가 높다’고 표현한다. 아카라는 200대 1의 종횡비를 지원한다. 회로의 선폭 대비 깊이가 200배나 된다는 이야기다. 조상준 램리서치코리아 기술총괄 부사장은 “필요한 종횡비는 반도체를 생산하는 고객사가 정하는데, 지금까지 요구한 가장 큰 조건이 200대 1이었다”고 개발 이유를 설명했다.이렇게 높은 종횡비가 필요해진 배경에는 낸드, 디램, 칩 기술의 발전이 있다. 현재 3D 낸드 메모리는 200단 내외로 적층하는 구조를 채택하고 있는데, 향후에는 1000단 규모로 적층량이 늘면서 그만큼 깊이 식각할 수 있는 장비의 필요성이 대두됐다.디램도 현재의 6F² 구조에서 집적도를 넓힌 4F²로 바뀌는 추세고, 향후에는 적층형 3D 디램이 필요해질 전망이다. 램리서치는 3D 디램 도입 시기를 2030년으로 전망했다. 3D 디램도 마찬가지로 종횡비가 매우 큰 식각 장비를 필요로 한다.칩 설계 기술은 현재 핀펫(FinFET) 구조에서 4면 모두 게이트로 둘러싸인 게이트 올 어라운드(GAA) 구조로 전환하는 추세다. 램리서치는 향후 게르마늄 농도가 서로 다른 펫(FET)을 한 곳에 적층하는 CFET 구조가 적용될 전망인데, 이렇게 만든 칩을 식각하려면 원자 수준의 정밀도가 필요하다고 언급했다.램리서치는 아카라가 4F² 구조와 3D 디램, GAA와 CFET 칩에서 요구하는 식각 성능과 정밀도를 충족한다며, 반도체 업계가 더 작고 높은 구조의 소자를 도입할 수 있게 하는 장비라고 강조했다. 또한 6F²나 핀펫 등 현재 상용화된 구조에도 사용 가능하다며 현재와 미래에 모두 대응할 수 있는 장비라고 덧붙였다.특히 CFET 기술을 상용화하려면 현재 최첨단 식각 기술의 변동성을 50% 이상 개선해 안정적인 식각이 가능해야 하는데, 아카라에 적용한 다이렉트드라이브 기술 덕분에 변동성을 CFET에 적용할 수 있을 정도로 충분히 낮췄다고 주장했다.<figure><img src="https://byline.network/wp-content/uploads/2025/06/Lam-Research-002.jpg" /></figure>아카라는 플라즈마를 이용해 고에너지 이온을 분사하는 방식으로 웨이퍼를 깎는다. 고종횡비 구조로 식각하려면 파내는 과정을 수백 번 반복해야 한다. 이 과정에서 플라즈마를 켜면 초반 몇 초 동안 형광등처럼 불안정하게 깜빡거리는데, 이때 식각이 바로 진행되면 파낸 모양이 일정하지 않다는 문제가 생긴다.램리서치는 플라즈마를 켰을 때 기존 대비 100배 이상 빠르게 파장을 안정화하는 ‘다이렉트드라이브’ 기술을 개발해 업계 최초로 식각 리액터에 적용했다고 설명했다.이온을 그대로 분사하면 웨이퍼 표면이 깎여 손상되거나 이온이 옆으로 튀면서 식각된 부분의 내벽이 필요 이상으로 깎일 가능성이 있다. 이를 방지하기 위해 아카라는 이온을 분사하는 주기 사이에 표면과 내벽을 보호하는 막지를 도포한다.이때 이온 분사 주기가 너무 짧으면 막지를 충분히 두껍게 도포할 시간이 부족하다. 고에너지 이온에 막지와 함께 웨이퍼 표면이나 내벽이 깎여나갈 가능성이 있다. 그래서 램리서치는 고에너지 이온 분사 주기를 늘리는 ‘템포’ 기술을 도입했다고 설명했다.분사 주기가 너무 길면 막지가 필요 이상으로 두껍게 도포되면서 웨이퍼에 불필요한 압력이 가해지고 식각이 제대로 되지 않을 수 있다. 램리서치는 이온 분사 주기를 적절하게 늘려 표면 손상 없이 정확하게 식각하는 게 중요한 핵심 기술이라고 강조했다.또한 이온이 내벽을 불규칙하게 깎지 않도록 직진성을 부여하는 ‘스냅’ 기술을 적용해 균일도를 높였다. 외부 압력에 쉽게 흩날리는 저에너지 이온을 최소화하고 똑바로 분사되는 고에너지 이온 위주로 생성한다.램리서치는 주요 파운드리에서 아카라 장비를 평가하는 중이며, 연구개발(R&D)과 양산 공정 양면으로 사용하고 있다고 언급했다.글. 바이라인네트워크<이병찬 기자>bqudcks@byline.network</div>

“반도체를 깎는 식각 장비는 깊이를 얇고 일정하게 팔 수 있어야 좋다. 램리서치의 새 식각 장비 ‘아카라’는, 반도체 생산 고객사가 요구하는 최대 조건까지 맞춰 식각을 할 수 있다.”

램리서치 “반도체 깎는 ‘식각’ 장비, 요즘 기술은 이래요”

TSMC가 미국 관세로 인한 영향에도 불구하고 강력한 인공지능(AI) 수요 덕에 올해 사상 최대 실적을 낼 것이라고 예고했다. 웨이저자 TSMC 최고경영자(CEO)는 3일 열린 주주총회에서 이같이 밝혔다. 그는 미국 관세가 회사에 일부 간점적 영향을 줬다고 인정하면서도 AI 사업이 “매우 강력하다”고 평가했다.

TSMC CEO “美 관세 영향에도 AI로 사상 최대 실적 경신할 것”

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